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光束整形技術在柔性銀基底材料的激光刻線中的應用
 
摘要】眾所周知,平頂激光光束對于激光加工是至關重要的,因此將一束相干的高斯光束整形為平頂光束的技術成為激光加工行業的重要課題。本文選用Ag/PET(銀/聚對苯二甲酸乙二醇酯)薄膜材料,利用532nm的納秒激光刻線系統刻蝕出一個U型截面,而用532nm的皮秒激光刻線系統刻蝕出一個V型截面。為了通過皮秒激光器獲得一個相同的U型截面,本文利用了一個將高斯光束整形為平頂光束的光束整形系統(Focal-piShaper9_532),用激光來刻蝕樣品,用顯微鏡來觀察刻蝕樣品的形貌。實驗后,刻蝕樣品的截面形貌通過激光掃描共聚焦顯微鏡記錄下來。綜上所述,通過光束整形器整形后的皮秒激光刻線系統可以很好得得到U型截面,而且減小了對材料基底的損傷。
 
關鍵詞】光束整形 平頂光束 皮秒激光器 Ag/PET(銀/聚對苯二甲酸乙二醇酯)薄膜材料
 
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